박막 두께 측정기
Reflectometer & Ellipsometer
TM-1
TM-2
TM-4
TM-5
TMER-2020
ILTHK-1000
3D 측정기
White light Scanning Interferometer
3D 측정 원리
• 백색광을 이용한 비접촉식 3D 측정방식(WSI: White Scanning Interferometry)은 다중파장의 빛은 여러 빛에 의한 간섭 신호들이 서로 상호 작용을 하기 때문에 대략 3~4um 이내의 거리 차에서만 간섭신호가 발생하는 것이 특징
• PZT와 같은 미세 구동 부품을 장착하여 기준면을 이동시키면서 여러 장의 간섭신호 획득, 영상내의 각 측정 점에서의 간섭 신호의 형태와 높이와의 수학적 관계를 통해 분석됩니다.
• 측정Logic: Visible Light → Patterned Sample → Z Axis Scanning(PZT 활용) → Image 획득 → PC → Software → 분석
색측정기
Colorimete
디스플레이용 광계측기 국산화 선두주자 ㈜에이앤아이의 브랜드 LUKAS 제품을 소개합니다.
다양한 시료로 교차 측정하여 광 교정/구성품 조립/요소품 품질의 종합적인 상태를 확인 할 수 있습니다.
완벽한 분포의 면광원을 사용, 카메라 분포 교정, 검사시간까지 단축하여 고객사 제품 품질 관리에 활용 합니다
광학계
- 비구면 렌즈 적용으로 광 효율 증대효과로 저 휘도 측정시간 감소
- 효율적 집광렌즈 시스템 설계로 휘도/색도 정확도 증가
- 필터 코팅 기술 개선으로 CIE1931 규격 일치율 향상(f1’<3%)
회로
- 2개의 온도 센서를 이용한 온도 보정
- 외부 환경의 노이즈에 영향을 받지 않는 H/W 설계
기구
- Mechanical Shutter를 이용한 거의 완벽한 Dark상태(1/1,000,000nit) 구현
- 소형화를 통해 설비 장착시 편리성 증대
광학계
- 밝고(F/#1.4) 모아레에 강한 렌즈 적용
- 회전 구조의 Multi ND 필터 장착, 넓은 Dynamic range 확보
- 렌즈 교환형(28mm(W), 55mm(R), 100mm(L)) 구조로 Automotive 패널 부터 VR/AR용 패널까지 폭넓게 사용 가능
- 내분진 설계(렌즈/카메라/구동/전장부 공간 분리 및 분진 유입 방지 설계 적용)
카메라
- Low signal level(2.5%)비선형 보정으로 짧은 노광 시간으로 유효한 데이터 취득
- 측정시간 단축(증폭회로 게인 스위치), 안정성향상(TE Cooling)
분광기
- Blue Enhanced 광학계 설계로 OLED 휘도/색도 측정 최적화
- 온/습도 변화에 둔감한 광학계 적용, TE Cooling Sensor 적용
초분광카메라
Hyperspectral Imaging Camera
스펙트럼 정보가 포함된 이미지를 활용하여, 반도체, 디스플레이 2차전지 제품의 품질관리 가능
촬상된 영상 내 스펙트럼 정보가 포함되어 있어, VISION으로 확인이 불가능한 결함 정보를 스펙트럼으로 확인 가능
초분광카메라는 Area방식과 Linescan방식이 있으며, 가시광부터 근적외선까지 영상 촬상이 가능한 제품으로 고객사 품질관리 대상물에 따라 초분광카메라 사양 선택이 가능함
[초분광 측정원리]
평가사례
분광기
Spectrometer
일반적으로 전자기 스펙트럼의 광학 영역 좌외선 (Ultraviolet),가시광선 (Visible),적외선 (Infrared Radiation)의 빛의 특성을 측정
대표적인 응용분야로는 흡수, 반사율, 투과율, 형광, 산란 등을 측정하며, 분광기(Spectrometer)와 현미경을 접목하여 다양한 산업분야(디스플레이, 반도체, 2차전지, 재료특성연구) 에서 활용 되고 있음
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